常见高纯气体的用途
环氧乙烷可用作生产增塑剂、润滑剂等；氯甲烷是重要的甲基化剂，还可作致冷剂、发泡剂等；氯乙烷可用作烟雾剂、冷冻剂、汽油抗震剂、局部麻l醉剂；二甲醚可作喷气推进剂、制冷剂、麻l醉剂；甲硫醇用于合成染料、医l药、农l药；乙炔可直接用于金属切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作为氯丁橡胶原料等。鑫和丰欢迎致电咨询！
三氟化氮主要用途是用作氟化l氢－氟化气高能化学激光器的氟源，高纯气体价格，在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分（约25%）可以以激光辐射释放出，所 HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，孝感高纯气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，高纯气体生产经销商，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，高纯气体供应管道，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。随着纳米技术的发展和电子工业大规模的发展技术，它的需求量将日益增加。
高纯氮气现场生产装置采用低温工艺流程，生产过程中将有冷量损失，有的高纯氮气生产装置为此配备了气体膨胀机产生低温以补偿冷量损失；有的高纯氮气生产装置虽然采用的仍是低温精馏流程，但摒弃了补偿冷量的机械设备膨胀机，取而代之的是采用外部的液氮直接补偿的所需的低温含量。这种无膨胀机的高纯氮气生产装置因减少了机械故障而提高了装置运行的可靠性。无膨胀机的高纯氮气生产装置的液氮补充量约占高纯氮气产量的3%左右 整套高纯氮气现场生产装置除 了空气压缩机、热部、冷箱之外，还有一个重要的部分即液氮（或高纯液氮）系统。这个液氮（或高纯液氮）系统有三个功能；可补偿生产过程中的冷损；用气量的调峰，氮气生产装置停机是产品气的备用。
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